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直立式板面黏塵清潔機

FTM

日本專業板面清潔設備公司FTM製作，有別於一般水平式板面清潔設備，直立式機台能大幅減少佔地面積，且方便移動，能靈活地依使用者位置做調整。入片口有離子式除靜電棒，能去除基板表面靜電。

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與傳統水平式清潔機相比能大幅減少2/3的設備佔地面積，且方便移動，能靈活地依使用者位置做調整。

可依板面大小做設定，進行感應式出入片。

入片口有離子式除靜電棒，能去除基板表面靜電。